デスミア、デスカム、親水性制御のプラズマ処理(厚さ25μ以下・温度70℃以下処理可能)全国発送の請負加工サービス/有限会社サーフクリーン

プロセス提案

立ち会いデモ処理 (3時間)

souti 1.jpg3時間¥60,000〜

弊社にて、お客様立ち会いのもと3時間の装置貸し切りでプラズマ処理を行います。
長年の経験と技術サポートで正確な実験を可能にし、適切な削れ量判断、接触角測定等
処理後すぐ検証を行い、お客様のワークにより適切な条件出しを致します。


立ち会いデモ処理 (6時間)

labo.jpg6時間¥120,000〜

再長時間の6時間の装置貸し切りが、適切な削れ量判断に加えて、プロセスガスの換装実験を可能にし、より多様な実験を行えます。お客様のワークに最上の条件出しを致します。


出張プロセス診断(生データ、解析資料作成)

CIMG2929.JPG1回¥200,000〜 *測定用ツール代含む *交通費実費別途ご請求

自社工程において、沢山の不良を抱え、プラズマ装置のパフォーマンスに不安を抱え込んでいる場合等ありましたら是非ご相談下さい。弊社開発システムとQCツールにて的確な診断を行い、当日の速報(生データ)から、具体的なプロセス解決方法まで詳細を後日レポートにてご報告致します。


*QC(品質保証)ツール

弊社は、プラズマプロセスをモニターするために専用の測定用チップを用います。測定用チップは、シリコンウエハ上に液状レジストを塗布し、ベークしたチップです。光干渉型膜厚計にてプラズマ処理前、処理後の測定用チップの膜厚差を比較し評価測定します。

削れ量=(未処理測定用チップ膜厚)ー(プラズマ処理測定用チップ膜厚)

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