■コロナウィルス対策(第13弾) 2023年5月1日付け
新型コロナ感染症(COVID-19)が大型連休明けの5月8日から「5類」になります。この変更にともなり当社としては従来の営業時間に戻します。
営業時間(通常):午前9時~午後5時
休業日:土曜日・日曜日・祝日
プラズマ表面処理の専門メーカです。有償受託加工処理サービスを中心に、プロセス開発支援まで行います。
■コロナウィルス対策(第13弾) 2023年5月1日付け
新型コロナ感染症(COVID-19)が大型連休明けの5月8日から「5類」になります。この変更にともなり当社としては従来の営業時間に戻します。
営業時間(通常):午前9時~午後5時
休業日:土曜日・日曜日・祝日
名称 有限会社サーフクリーン
設立 2005年1月
代表者 代表取締役 加藤聖隆
資本金 3,000,000円
主な事業 1.有償加工処理サービス
1)真空プラズマ処理
2)大気圧プラズマ処理
3)その他の表面処理
2.プラズマプロセス技術開発支援(コンサルティング)
住所
〒252-0131
神奈川県相模原市緑区西橋本5-4-30
さがみはら産業創造センター2211号室
電話 : 042-770-9751
FAX: 042-770-9424
Email : contact[at mark] surfclean.co.jp ([at mark]を@として送付ください)
当社で用いている主なプラズマ処理装置を紹介します。
真空プラズマ処理装置(マイクロ波ダウンフロープラズマを採用)
酸素ガスとCF4ガスとの混合ガスを、真空下にてマイクロ波の電力でプラズマ化(電離)しています。生成されたプラズマ中で解離された酸素ラジカルを、輸送過程で均一なラジカルの流れに変え、ラジカルをワーク表面に均一に到達させることで、均一性が高い処理を実現しています。
【特徴①】ワークを水平に搬送するスキャン式プラズマ処理技術により、従来のバッチ式プラズマ処理装置よりも、より均一な処理(均一なエッチング速度など)を実現しています。
【特徴②】マイクロ波ダウンフロープラズマ技術を採用しているために、低温での処理を実現しています(サーモラベルで60度以下を実現)
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